LOTTE OIL HYDRAULIC MACHINERY LTD. CO.
(주)롯데유공압기계의 필터 시스템
시스템 설명
반도체용 필터사양
*좌우로 스크롤하여 내용을 확인할 수 있습니다.
제품군 | 타입 | 여과등급(um) | 최고 사용 온도 | 옵션 | 특성 |
---|---|---|---|---|---|
FLUOROFLOW® 100% Fluoropolymer |
카트리지 | 0.03, 0.05, 0.1, 0.2, 0.45, 1 | 180 °C | S U XL XF | 100% 테프론 계열의 재질 사용으로 강산, Stripper, CMP Slurry 약액, Photoresist 등 높은 온도의 다양한 특수 케미컬에 강한 내화학성을 가집니다. |
FLUOROCAP® 100% Fluoropolymer |
캡슐 | 0.03, 0.05, 0.1, 0.2 | 180 °C | S U XL XF | 높은 온도의 강산 및 반도체용 특수 케미컬 공정에 적합하고 하우징, 카트리지 일체형으로 조립시 용이하고 오염가능성이 적습니다. |
CHEMFLOW® PE & XF PTFE membrane / HDPE |
카트리지 | 0.05, 0.1, 0.2, 1 | 60 °C | S XF | 60 °C 이하의 Wet etch와 cleaning 공정, 포토케미컬공정에 적합합니다. |
CLARIFLOW® PES membrane / PP |
카트리지 미니 캡슐 미니 카트리지 |
0.02, 0.04, 0.1, 0.2, 0.45, 0.65, 0.8 | 80 °C | S | 유기물 또는 이온성 물질의 토출량이 적어 UPW system, POU DI 세척공정 및 Copper plating 공정에 적합합니다. |
PROFLOW II PES membrane / PP |
카트리지 미니 캡슐 미니 카트리지 |
0.03, 0.05, 0.1, 0.2, 0.45, 1 | 80 °C | S | 80 °C 이하의 Wet etch & cleaning, DI water 공정, 포토케미컬공정에 적합합니다. |
PROFLOW - HE PES membrane / PP |
카트리지 | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 3, 10 | 80 °C | S | 고순도 DI water 공정, 용매토출공정에 적합합니다. |
POLYFLOW® Membrane PP membrane / PP structure |
카트리지 | 0.04, 0.07, 0.1, 0.2 | 80 °C | S | 비교적 저렴한 비용으로 많은양의 포토케미컬공정에 적합합니다. |
POLYFLOW® PP depth media / PP structure |
카트리지 미니 캡슐 미니 카트리지 |
0.6, 1.2, 2.5, 5, 10, 20, 40 | 80 °C | S | 많은 양의 파티클 필터링이 가능하며 여과 수명을 증가시켜 장기간동안 DI water나 용제의 Prefilter 용으로 사용할 수 있어 비용절감을 할 수 있습니다. |
적용 사진