(주)롯데유공압기계 : 필터 시스템

사업영역

LOTTE OIL HYDRAULIC MACHINERY LTD. CO.

필터 시스템

(주)롯데유공압기계의 필터 시스템

페이퍼롤 형 카트리지 형 FILTER SYSTEM

시스템 설명
반도체용 필터사양

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제품군	타입	여과등급(um)	최고 사용 온도	옵션	특성
FLUOROFLOW® 100% Fluoropolymer	카트리지	0.03, 0.05, 0.1, 0.2, 0.45, 1	180 °C	S U XL XF	100% 테프론 계열의 재질 사용으로 강산, Stripper, CMP Slurry 약액, Photoresist 등 높은 온도의 다양한 특수 케미컬에 강한 내화학성을 가집니다.
FLUOROCAP® 100% Fluoropolymer	캡슐	0.03, 0.05, 0.1, 0.2	180 °C	S U XL XF	높은 온도의 강산 및 반도체용 특수 케미컬 공정에 적합하고 하우징, 카트리지 일체형으로 조립시 용이하고 오염가능성이 적습니다.
CHEMFLOW® PE & XF PTFE membrane / HDPE	카트리지	0.05, 0.1, 0.2, 1	60 °C	S XF	60 °C 이하의 Wet etch와 cleaning 공정, 포토케미컬공정에 적합합니다.
CLARIFLOW® PES membrane / PP	카트리지 미니 캡슐 미니 카트리지	0.02, 0.04, 0.1, 0.2, 0.45, 0.65, 0.8	80 °C	S	유기물 또는 이온성 물질의 토출량이 적어 UPW system, POU DI 세척공정 및 Copper plating 공정에 적합합니다.
PROFLOW II PES membrane / PP	카트리지 미니 캡슐 미니 카트리지	0.03, 0.05, 0.1, 0.2, 0.45, 1	80 °C	S	80 °C 이하의 Wet etch & cleaning, DI water 공정, 포토케미컬공정에 적합합니다.
PROFLOW - HE PES membrane / PP	카트리지	0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 3, 10	80 °C	S	고순도 DI water 공정, 용매토출공정에 적합합니다.
POLYFLOW® Membrane PP membrane / PP structure	카트리지	0.04, 0.07, 0.1, 0.2	80 °C	S	비교적 저렴한 비용으로 많은양의 포토케미컬공정에 적합합니다.
POLYFLOW® PP depth media / PP structure	카트리지 미니 캡슐 미니 카트리지	0.6, 1.2, 2.5, 5, 10, 20, 40	80 °C	S	많은 양의 파티클 필터링이 가능하며 여과 수명을 증가시켜 장기간동안 DI water나 용제의 Prefilter 용으로 사용할 수 있어 비용절감을 할 수 있습니다.

적용 사진